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Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS)

Die Photoelektronenspektroskopie beruht auf dem Photoeffekt: Durch Anregung mit Photonen werden aus Atomen, Molekülen oder Festkörpern Elektronen herausgelöst, deren kinetische Energie bestimmt wird.

Je nach Anregungsquelle unterscheidet man zwischen XPS (X-Ray Photoelectron Spectros- copy, Anregung mit Röntgenstrahlung, Eprim > 100 eV) und UPS (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy, Anregung mit UV-Strahlung,
E
prim < 100 eV).